【蜜桃影业传媒推广】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000 ，优化套刻精度 从而有助于实现高套刻精度
内容摘要
IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实
Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘 ，发售
IT之家 8 月 3 日消息 ，对准度还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆 。
对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备 。Nikon（尼康）7 月 30 日宣布 ，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化 。
尼康表示 ，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。 IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实
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